FRT GmbH является одним из ведущих мировых поставщиков неразрушающей оптической 30-метрологии для научно-исследовательских учреждений и на крупносерийные производства микроэлектронных устройств. Оборудование успешно используется для контроля качества в научных разработках и производстве.
Приборы могут быстро, эффективно и интуитивно выполнять широкий спектр задач измерений для полупроводниковых приложений, 3D IC, Advanced Packaging, MEMS, VCSEL, машиностроения, оптики, медицины и многих других областей.
Сверхстабильная платформа третьего поколения и мощное программное обеспечение — результат более чем 25-летнего опыта. Конструкция приборов основана на мультисенсорной концепции, что обеспечивает многообразность их применений. Как глобальный и надежный бизнес-партнер мы осуществляем международное сервисное обслуживание и поддержку, в т.ч. на русском языке, сопровождаем клиентов на протяжении всего периода сотрудничества, начиная с формулировки задачи, тестовых измерений, возникновения новых производственных вопросов или вызовов.
Разнообразие выбора оптических 30-датчиков, модульная мультисен- сорная концепция FRT, а также гибридная метрология расширяют возможности производственных линий по всему миру. Измерительные приборы FRT позволяют быстро и точно определять шероховатость, контур, топографию, толщину изделия, TTV, толщины слоев, изгиб и деформацию, напряжение, TSV, канавки, совмещение, CD, скрытые структуры в срощенных пластинах и включения в подложке, дефекты и многие другие параметры поверхности, задавая новые индустриальные стандарты.
Новая эра
Январь 2020 г. ознаменовал начало новой эры для FRT. Компания добавила в свой ассортимент оборудование для инспекции дефектов. Новая разработка была создана для удовлетворения потребности заказчиков в инструменте, объединяющем метрологические и инспекционные возможности в одном приборе.
Конфигурация данной системы зависит от типа и размера исследуемых дефектов, а также от требуемой производительности. Модульная система способна обнаруживать дефекты с латеральным размером до нескольких сотен нм. Система состоит из нескольких модулей, которые могут быть гибко объединены на одной универсальной инструментальной платформе. В частности, оптический контроль и классификация дефектов осуществляются модулем single-shot — для моментальной 20-инспекции всей пластины, пошаговым модулем step module — для 20-инспекции структурированных пластин, микроскопом высокого разрешения для инспекции дефектов до нескольких сотен нм, а также комплексной мультисенсорной метрологией с различными ЗО-датчиками топографии и измерения толщин слоев.
Система позволяет увеличить производительность, благодаря быстрому поиску грубых дефектов инспекционным модулем, и в случае обнаружения проблемных мест, осуществить более детальное исследование с помощью ЗО-метрологии.
Инспекция и обработка внешнего вида кристаллов на пластине ведется при сравнении с идеальным, заведомо годным кристаллом — “golden die”, благодаря чему создается карта годности всей пластины на основе заданных пользователем критериев.
Хроматические датчики (точечные):
- высокое разрешение;
- измерения в точках, профили, картирование;
- черезвычайно гибкие настройки;
- быстрые измерения больших площадей.
Датчики площади (конфокальный микроскоп, интерферометр):
- очень высокое разрешение;
- увеличение площади функцией сшивания;
- быстрые измерения на небольших площадях.
Атомно-силовой микроскоп (ACM):
- сверхвысокое разрешение в субнанометрах;
- прост в использовании
Датчики толщины пленок:
- высокое разрешение;
- измерения больших площадей;
- измерение толщины многослойных структур
- тонкие и очень тонкие пленки.
FRT GmbH Germany
Tel: +49 2204 84-3213
Fax: +49 2204 84-2431
info@frtmetrology.ru
www.frtmetrology.com
