Общепромышленные и специализированные датчики давления

Промышленная группа «Микроэлектронные датчики» (ПГ МИДА) разрабатывает и выпускает датчики давления на основе оригинальных исследований структур «Кремний на сапфире» (КНС) [1]. Кроме линейки общепромышленных датчиков МИДА-13П [2] и МИДА-15 [3] в ПГ МИДА разработан и выпускается ряд специализированных датчиков давления.

Сертифицированные эталонные датчики давления МИДА-15-Э с цифровым выходным сигналом RS-485/Modbus имеют основную погрешность не хуже 0,05% и такую же относительную погрешность в интервале 10-100% от диапазона измерения. Реальная погрешность таких датчиков может составлять до 0,01% от измеряемой величины [4]; сертификация датчиков с такой точностью планируется в следующем году.

Эталонный датчик абсолютного давления на 100 кПа

Эталонный датчик абсолютного давления на 100 кПа и его относительная погрешность

Такие датчики могут использоваться в качестве эталонов первого разряда при поверке датчиков абсолютного и избыточного давления. В производстве ПГ МИДА они заменили обычно используемые грузопоршневые манометры и преобразователи ИПДЦ.

Как и другие датчики давления ПГ МИДА с цифровым выходным сигналом, датчики МИДА-15-Э могут  одновременно индицировать температуру измеряемой среды (без использования отдельного преобразователя температуры). Значения обоих параметров могут одновременно выводиться на электронное табло.

Высокотемпературные датчики давления и температуры расплавов полимеров МИДА-12П-082 отличаются тем, что в них отсутствуют капилляры с жидкостью, передающие давление от измеряемой среды к датчику давления. Первичный преобразователь и выносной электронный блок соединены электрическим кабелем, что существенно повышает точность измерения (не более 0,5% в интервале температур 20-300оС) и существенно увеличивает надежность датчика, упрощает его монтаж. Точность измерения температуры (в датчиках с цифровым выходным сигналом)  составляет около 0,5оС. Датчики могут иметь также выходной сигнал 4-20 мА (без индикации температуры). Результаты сравнительных испытаний показали, что датчики МИДА-12П-082 могут успешно конкурировать с лучшими мировыми разработками в области измерения давления расплавов полимеров [5].

Датчик давления-температуры расплава полимера

Датчик давления-температуры расплава полимера  

Как было показано ранее [6], на основе структур КНС можно изготавливать датчики  давления  криогенных сред,  работающие вплоть до температуры жидкого гелия   (-270оС). В ПГ МИДА разработан криогенный датчик абсолютного давления МИДА-ДИ-12П-12КР с диапазоном рабочих температур от -200оС до +40оС, причем при температуре жидкого азота (-197оС) точность измерения составляет не хуже 0,1%. И в этом случае датчик с цифровым выходным сигналом может одновременно индицировать температуру измеряемой среды.

Датчик давления для криогенных температур

Датчик давления для криогенных температур и его основная погрешность при температуре жидкого азота (-197 °С)

На основе эталонных датчиков абсолютного давления разработан также датчик абсолютного давления для вакуумной техники, который при диапазоне измерения 0-100 кПа имеет разрешение не хуже 10 Па. Такой датчик можно использовать вместо термопарного вакууметра при повышенной точности измерения.

Датчик абсолютного давления для вакуумной техники

Датчик абсолютного давления для вакуумной техники

  1. Стучебников В.М. Структуры Кремний-на-сапфире как материал для тензопреобразователей механических величин // Радиотехника и электроника, 2005, т.50, №6, с. 678-696.
  2. http://www.midaus.com/dokumentatsiya/publikatsii/preobrazovateli-i-datchiki-pg-mida/15-obshchepromyshlennye-datchiki-davleniya-mida-13p.html
  3. http://www.midaus.com/dokumentatsiya/publikatsii/preobrazovateli-i-datchiki-pg-mida/20-osobennosti-tsifrovykh-obshchepromyshlennykh-datchikov-davleniya-mida-15.html
  4. Васьков Ю.А., Савченко Е.Г., Стучебников В.М., Цифровые датчики давления МИДА на основе структур «кремний на сапфире» // «ИСУП», 2020, №6, с. 85-87.
  5. http://www.midaus.com/dokumentatsiya/publikatsii/preobrazovateli-i-datchiki-pg-mida/49-preimushchestva-datchikov-davleniya-rasplava-mida.html
  6. Лурье Г.И., Стучебников В.М. Измерение давления в криогенных средах. // ИКА, 1989, №2, с. 18-25.

 

432035 г. Ульяновск, проезд Энергетиков, д. 4

тел.: 8-800-200-03-04, +7 (8422) 360-363, 360-378

факс: +7 (8422) 360-379

e-mail: info@midaus.com

www.midaus.com

Author: admin