Промышленная группа «Микроэлектронные датчики» (ПГ МИДА) разрабатывает и выпускает датчики давления на основе оригинальных исследований структур «Кремний на сапфире» (КНС) [1]. Кроме линейки общепромышленных датчиков МИДА-13П [2] и МИДА-15 [3] в ПГ МИДА разработан и выпускается ряд специализированных датчиков давления.
Сертифицированные эталонные датчики давления МИДА-15-Э с цифровым выходным сигналом RS-485/Modbus имеют основную погрешность не хуже 0,05% и такую же относительную погрешность в интервале 10-100% от диапазона измерения. Реальная погрешность таких датчиков может составлять до 0,01% от измеряемой величины [4]; сертификация датчиков с такой точностью планируется в следующем году.
Эталонный датчик абсолютного давления на 100 кПа и его относительная погрешность
Такие датчики могут использоваться в качестве эталонов первого разряда при поверке датчиков абсолютного и избыточного давления. В производстве ПГ МИДА они заменили обычно используемые грузопоршневые манометры и преобразователи ИПДЦ.
Как и другие датчики давления ПГ МИДА с цифровым выходным сигналом, датчики МИДА-15-Э могут одновременно индицировать температуру измеряемой среды (без использования отдельного преобразователя температуры). Значения обоих параметров могут одновременно выводиться на электронное табло.
Высокотемпературные датчики давления и температуры расплавов полимеров МИДА-12П-082 отличаются тем, что в них отсутствуют капилляры с жидкостью, передающие давление от измеряемой среды к датчику давления. Первичный преобразователь и выносной электронный блок соединены электрическим кабелем, что существенно повышает точность измерения (не более 0,5% в интервале температур 20-300оС) и существенно увеличивает надежность датчика, упрощает его монтаж. Точность измерения температуры (в датчиках с цифровым выходным сигналом) составляет около 0,5оС. Датчики могут иметь также выходной сигнал 4-20 мА (без индикации температуры). Результаты сравнительных испытаний показали, что датчики МИДА-12П-082 могут успешно конкурировать с лучшими мировыми разработками в области измерения давления расплавов полимеров [5].
Датчик давления-температуры расплава полимера
Как было показано ранее [6], на основе структур КНС можно изготавливать датчики давления криогенных сред, работающие вплоть до температуры жидкого гелия (-270оС). В ПГ МИДА разработан криогенный датчик абсолютного давления МИДА-ДИ-12П-12КР с диапазоном рабочих температур от -200оС до +40оС, причем при температуре жидкого азота (-197оС) точность измерения составляет не хуже 0,1%. И в этом случае датчик с цифровым выходным сигналом может одновременно индицировать температуру измеряемой среды.
Датчик давления для криогенных температур и его основная погрешность при температуре жидкого азота (-197 °С)
На основе эталонных датчиков абсолютного давления разработан также датчик абсолютного давления для вакуумной техники, который при диапазоне измерения 0-100 кПа имеет разрешение не хуже 10 Па. Такой датчик можно использовать вместо термопарного вакууметра при повышенной точности измерения.
Датчик абсолютного давления для вакуумной техники
- Стучебников В.М. Структуры Кремний-на-сапфире как материал для тензопреобразователей механических величин // Радиотехника и электроника, 2005, т.50, №6, с. 678-696.
- http://www.midaus.com/dokumentatsiya/publikatsii/preobrazovateli-i-datchiki-pg-mida/15-obshchepromyshlennye-datchiki-davleniya-mida-13p.html
- http://www.midaus.com/dokumentatsiya/publikatsii/preobrazovateli-i-datchiki-pg-mida/20-osobennosti-tsifrovykh-obshchepromyshlennykh-datchikov-davleniya-mida-15.html
- Васьков Ю.А., Савченко Е.Г., Стучебников В.М., Цифровые датчики давления МИДА на основе структур «кремний на сапфире» // «ИСУП», 2020, №6, с. 85-87.
- http://www.midaus.com/dokumentatsiya/publikatsii/preobrazovateli-i-datchiki-pg-mida/49-preimushchestva-datchikov-davleniya-rasplava-mida.html
- Лурье Г.И., Стучебников В.М. Измерение давления в криогенных средах. // ИКА, 1989, №2, с. 18-25.
432035 г. Ульяновск, проезд Энергетиков, д. 4
тел.: 8-800-200-03-04, +7 (8422) 360-363, 360-378
факс: +7 (8422) 360-379
e-mail: info@midaus.com
www.midaus.com
