Промышленная группа МИДА (МИкроэлектронные ДАтчики), возникшая в 1991 г., занимается разработкой и производством микроэлектронных датчиков давления, основанных на оригинальных тензочувствительных элементах из гетероэпитаксиальных структур «Кремний на сапфире» (КНС) [1]. Основные технические решения, относящиеся к использованию структур КНС для измерения механических величин, защищены авторскими свидетельствами СССР, патентами РФ, США, Франции и Германии. Начиная с 1993 г. датчики давления МИДА рекомендовала фирма «Газприборавтоматика» для применения на объектах объединения «Газпром». В 1990-х годах их широко использовали, в частности, в системах транспортировки газа, где они доказали свою надежность и точность.
В ПГ МИДА постоянно проводятся исследования и разработки датчиков на базе оригинальных конструкторских, схемотехнических и технологических решений, направленных на дальнейшее расширение возможностей измерения давления и температуры с помощью структур КНС, повышение точности, стабильности приборов, уменьшение их габаритов и массы.
В настоящее время Промышленной группой МИДА разработаны и серийно выпускаются датчики абсолютного и дифференциального давления для систем коммерческого учета расхода газа с точностью 0,1 %, преобразователи для контроля давления в скважинах с точностью 0,1 % при рабочей температуре до 350 °С. Разработаны преобразователи для одновременного точного измерения давления и температуры до 350 °С в нефтяных и газовых скважинах. Также ПГ МИДА выпускает десятки видов датчиков и преобразователей избыточного и абсолютного давления, разности давлений, разрежения, избыточного давления-разрежения. Верхний предел измерений датчиков и преобразователей составляет от 4 кПа до 250 МПа, основная погрешность – от 0,05 до 0,5 %, а диапазон температур измеряемых сред – от -200 до +500 °С. Датчики выпускаются как с аналоговыми (4–20 мА, 0–5 В, 0,5–4,5 В и др.), так и с цифровыми (RS-485/Modbus) выходными сигналами в обычном и во взрывозащищенном исполнении: искробезопасная цепь – Ех или взрывонепроницаемая оболочка – Вн. Все приборы имеют необходимые сертификаты, лицензии, свидетельства, разрешения. Метрологическая служба ООО «МИДАУС» аккредитована на проведение государственной поверки (включая класс 0,05 %). На предприятии действует система менеджмента качества ИСО 9001:2011.
Общепромышленная линейка датчиков давления МИДА представлена сериями МИДА-13П [2] и МИДА-15 [3] (рис. 1).
МИДА-13П – общепромышленные датчики с аналоговым стандартным сигналом для измерения давления избыточного (ДИ), абсолютного (ДА), разрежения (ДВ), избыточного давления-разрежения (ДИВ) в обычном и взрывозащищенном (-Ех и -Вн) исполнениях, включая датчики с открытой мембраной (рис. 2), высокоточные датчики (-В и -К), датчики с блоком грозозащиты (-Г).
МИДА-15 – общепромышленные датчики с аналоговым и цифровым выходным сигналом моделей ДИ, ДА, ДВ, ДИВ и ДД (перепада давлений), в том числе с низким энергопотреблением и во взрывозащищенном исполнении -Ех.
МИДА-ДИ-12П (рис. 3) – датчики избыточного давления высокотемпературных (до 350 °С) сред, включая датчики с открытой мембраной и с исполнением -Ех. Особенностью выпускаемых датчиков является нормировка дополнительной температурной погрешности – она нормируется не в %/10 °С, а зоной температурной погрешности в рабочем диапазоне температур [4].
В настоящее время в ПГ МИДА освоен серийный выпуск малогабаритных датчиков давления серии МИДА-15-М (рис. 4). Эта серия датчиков отличается своей компактностью и различными вариантами выходных сигналов. Датчики МИДА-15-М-3 имеют открытую мембрану и цифровой выходной сигнал RS-485/Modbus. В датчики МИДА-15-М-1 используется аналоговый сигнал 4-20 мА.
Кроме перечисленных, в ПГ МИДА разработан и выпускается ряд специализированных датчиков: эталонные датчики давления МИДА-15-Э, высокотемпературные датчики давления-температуры расплавов МИДА-12П-082, криогенные датчики давления МИДА-12П-12-КР, датчики абсолютного давления для вакуумной техники МИДА-ДА-15, погружные гидростатические уровнемеры МИДА-ДИ-15-П.
Е.Г. Савченко, e–mail: seg@midaus.com
В.М. Стучебников, д.т.н., профессор, e–mail: vms@midaus.com
ПГ МИДА
Россия, г. Ульяновск, проезд Энергетиков, дом 4.
Адрес для корреспонденции: ЗАО МНС, 432012, г. Ульяновск, а/я 5370.
Прием заявок: sales@midaus.com
8-800-200-03-04 (звонок по РФ бесплатный)
Общий телефон:
+7 8422 360 363
Факс:
+7 8422 360 379
http://midaus.com/
Список источников
- Стучебников В.М. Структуры Кремний-на-сапфире как материал для тензопреобразователей механических величин // Радиотехника и электроника. – 2005. – Т. 50.
– С. 678–696. - http://www.midaus.com/dokumentatsiya/publikatsii/preobrazovateli-i-datchiki-pg-mida/15-obshchepromyshlennye-datchiki-davleniya-mida-13p.html
- http://www.midaus.com/dokumentatsiya/publikatsii/preobrazovateli-i-datchiki-pg-mida/20-osobennosti-tsifrovykh-obshchepromyshlennykh-datchikov-davleniya-mida-15.html
- Стучебников В.М. О нормировании температурной погрешности тензорезисторных полупроводниковых датчиков // Датчики и системы. – 2004. – № 9. – С. 15–
